RO純水設備典型工藝流程為：

1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點

2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點

3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點

4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點

反滲透（膜分離）法超純水制造技術:

反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。

反滲透法分離過程有如下優點：

①不需加熱、沒有相變；

②能耗少；過程連續穩定；

③設備體積小、操作簡單，適應性強；

④對環境不產生污染。

反滲透純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率＜10-20μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米。 反滲透膜老化或受污染后，產水質量會下降.

RO純水設備廣泛應用于:  

電子工業用水　　　 集成電路、硅晶片、顯示管等電子元器件沖洗水

制藥行業用水　　　 制藥行業用水 　大輸液、針劑、片劑、生化制品、設備清洗等

化工行業工藝用水　 化工循環水、化工產品制造等

電力行業　　　　　 鍋爐補給水 　火力發電鍋爐、廠礦中低壓鍋爐動力系統等

食品工業用水　　　 飲用純凈水、飲料、啤酒、白酒、保健品等

海水、苦咸水淡化　 海島、艦船、海上鉆井平臺、苦咸水地區等

飲用純凈水　　　　 房產物業、社區、企事業單位等

超聲波清洗用水　　 電腦配件、特種材料、精密機械等要求高清潔度的超聲波清洗線

電鍍行業用水　　　 清洗工件用水,槽液用水

其它工藝用水　　　 汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細化學品等。

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