| 指 標 名 稱 | 一 級 水（EW-1） | 二 級 水（EW-2） |
| 電阻率MΩ.CM. （25℃） | 18(95‰時間)不低于17 | 15(95‰時間)不低于13 |
| 硅 ≤μg/L | 2 | 10 |
| ＞1μm 微粒數 | 0.1 | 5 |
| 細菌個數 ≤個/ml | 0.01 | 0.1 |
| 銅 ≤μg/L | 0.2 | 1 |
| 鋅 ≤μg/L | 0.2 | 1 |
| 鎳 ≤μg/L | 0.1 | 1 |
| 鈉 ≤μg/L | 0.5 | 2 |
| 鉀 ≤μg/L | 0.5 | 2 |
| 氯 ≤μg/L | 1 | 1 |
| 硝酸根 ≤μg/L | 1 | 1 |
| 磷酸根 ≤μg/L | 1 | 1 |
| 硫酸根 ≤μg/L | 1 | 1 |
| 總有機碳 ≤μg/L | 20 | 100 |
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